積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)

論文・著書情報

タイトル

和文:	積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)
英文:

著者

和文:	古賀達也, 高安基大, 山根大輔, 伊藤浩之, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Tatsuya Koga, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Toshifumi Konishi, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年3月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第64回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京都
英文: