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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:DLC coating on a trench-shaped target by bipolar PBII 
著者
和文: 平田 祐樹, 崔 埈豪, 加藤 孝久.  
英文: Yuki Hirata, Junho Choi, Takahisa Kato.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:International Journal of Refractory Metal and Hard Materials 
巻, 号, ページ Vol. 49       
出版年月 2015年3月 
出版者
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会議名称
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開催地
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