Large Scale Uniformity of Sputtering Deposited Single- and Few-Layer MoS2 Investigated by XPS Multipoint Measurements and Histogram Analysis of Optical Contrast
著者
和文:
S. Ishihara,
Y. Hibino,
N. Sawamoto,
大橋 匠,
松浦 賢太朗,
H. Machida,
M. Ishikawa,
若林 整,
小椋 厚志.
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