Erosion of fluorinated diamond-like carbon films by exposure to soft X-rays

論文・著書情報

タイトル

和文:	Erosion of fluorinated diamond-like carbon films by exposure to soft X-rays
英文:	Erosion of fluorinated diamond-like carbon films by exposure to soft X-rays

著者

和文:	Kazuhiro Kanda, Hiroki Takamatsu, Eri Miura-Fujiwara, 赤坂大樹, Akihiro Saiga, Koji Tamada.
英文:	Kazuhiro Kanda, Hiroki Takamatsu, Eri Miura-Fujiwara, Hiroki Akasaka, Akihiro Saiga, Koji Tamada.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Japanese Journal of Applied Physics
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 57 045501

出版年月

2018年2月22日

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI