Deposition of the a-BCN film formed from tri-methylborazine

論文・著書情報

タイトル

和文:	Deposition of the a-BCN film formed from tri-methylborazine
英文:	Deposition of the a-BCN film formed from tri-methylborazine

著者

和文:	河越奈沙, 中野雅之, Tetsuya YAMAMOTO, 稗田純子, 大竹尚登, 赤坂大樹.
英文:	Nasa KAWAGOSHI, Masayuki NAKANO, Tetsuya YAMAMOTO, Junko HIEDA, Naoto OHTAKE, Hiroki AKASAKA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	The 16th International Conference on Precision Engineering Abstract book
英文:	The 16th International Conference on Precision Engineering Abstract book

巻, 号, ページ

出版年月

2016年11月14日

出版者

和文:	精密工学会
英文:	JSPE

会議名称

和文:	The 16th International Conference on Precision Engineering
英文:	The 16th International Conference on Precision Engineering

開催地

和文:	Hamamatsu city, Shizuoka
英文: