Tri-Axis Fully-Differential MEMS Accelerometer with Segmented Capacitance Detection

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Tri-Axis Fully-Differential MEMS Accelerometer with Segmented Capacitance Detection

著者

和文:	乙部翔太, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Shota Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年6月24日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018 (APCOT 2018)

開催地

和文:
英文:	Hong Kong