周期的ナノパターン表面を有するポリマー基板上への酸化物半導体薄膜の作製と電気特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	周期的ナノパターン表面を有するポリマー基板上への酸化物半導体薄膜の作製と電気特性評価
英文:	Preparation of oxide thin film on periodic nanostructured polymer substrates

著者

和文:	岩佐健, 大賀友瑛, 土嶺信男, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Ken Iwasa, Tomoaki Oga, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月5日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 79th JSAP Autumn Meeting, 2018

開催地

和文:	名古屋
英文:	Nagoya

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