SUB-MU-M WIDE CHANNELS WITH SURFACE-POTENTIAL COMPENSATED BY FOCUSED SI ION-BEAM IMPLANTATION

論文・著書情報

タイトル

和文:	SUB-MU-M WIDE CHANNELS WITH SURFACE-POTENTIAL COMPENSATED BY FOCUSED SI ION-BEAM IMPLANTATION
英文:	SUB-MU-M WIDE CHANNELS WITH SURFACE-POTENTIAL COMPENSATED BY FOCUSED SI ION-BEAM IMPLANTATION

著者

和文:	Fujisawa, T., Saku, T., Hirayama, Y., Tarucha, S., 藤澤利正.
英文:	Fujisawa, T., Saku, T., Hirayama, Y., Tarucha, S., Toshimasa Fujisawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Applied Physics Letters
英文:	Applied Physics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 63 No. 1 pp. 51-53

出版年月

1993年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI