Gas Species Comparison of Fast Atom Beam Irradiation to Photoluminescence Properties of GaInAs/InP layers for Surface Activated Bonding

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Gas Species Comparison of Fast Atom Beam Irradiation to Photoluminescence Properties of GaInAs/InP layers for Surface Activated Bonding

著者

和文:	王雨寧, 御手洗拓矢, 雨宮智宏, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Yuning Wang, Takuya Mitarai, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, Shigehisa Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第79回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
英文:	Extended abstracts of the 79th JSAP autumn meeting

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月18日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 79th JSAP Autumn Meeting,2018

開催地

和文:	名古屋
英文:	Nagoya

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