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論文・著書情報


タイトル
和文:高圧力非平衡プラズマ中電子密度・温度算出のための発光スペクトル解析 
英文:Optical emission spectroscopic (OES) analysis for diagnostics of electron density and temperature in high-pressure non-equilibrium plasmas 
著者
和文: 赤塚洋.  
英文: HIROSHI AKATSUKA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理 
英文:OYO BUTURI 
巻, 号, ページ Vol. 87    No. 11    pp. 821 - 827
出版年月 2018年11月5日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文: 
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開催地
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公式リンク https://www.jstage.jst.go.jp/article/oubutsu/87/11/87_821/_article/-char/ja
 
DOI https://doi.org/10.11470/oubutsu.87.11_821
アブストラクト 大気圧下でも適用可能な非平衡プラズマの電子温度・密度計測法には，簡便・安価な実用法として期待される発光分光計測法がある．本稿では，その中でも重要と考えられる2 つの方法，衝突輻射（CR）モデルに基づいた線スペクトル強度測定法，および電子-中性粒子制動放射による連続スペクトル測定法につい て，その原理と実測例を紹介する．特に前者については，モデル計算の結果を実際の分光測定結果に実用レベルで適用するための手法として，「主要素過程抽出法」，「2 線対法」，そして「励起温度換算法」の3 手法を紹介する．最後に，連続スペクトル計測による実測例を紹介し，この方法ならば原理的には電子エネルギー分布関数（EEDF）をも求められることに触れ，今後の研究展望を述べる．

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