Reaction control of tetraethyl orthosilicate (TEOS)/O-3 and tetramethyl orthosilicate (TMOS)/O-3 counter diffusion chemical vapour deposition for preparation of molecular-sieve membranes

論文・著書情報

タイトル

和文:	Reaction control of tetraethyl orthosilicate (TEOS)/O-3 and tetramethyl orthosilicate (TMOS)/O-3 counter diffusion chemical vapour deposition for preparation of molecular-sieve membranes
英文:	Reaction control of tetraethyl orthosilicate (TEOS)/O-3 and tetramethyl orthosilicate (TMOS)/O-3 counter diffusion chemical vapour deposition for preparation of molecular-sieve membranes

著者

和文:	Yamaguchi, T, Ying, X, Tokimasa, Y, Nair, BN, Sugawara, T, Nakao, S, 山口猛央.
英文:	Yamaguchi, T, Ying, X, Tokimasa, Y, Nair, BN, Sugawara, T, Nakao, S, Takeo Yamaguchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Physical Chemistry Chemical Physics
英文:	Physical Chemistry Chemical Physics

巻, 号, ページ

Vol. 2 No. 19 pp. 4465-4469

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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