Sulfurization in Sulfur Vapor for Sputtered-MoS2 Film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Sulfurization in Sulfur Vapor for Sputtered-MoS2 Film

著者

和文:	松浦賢太朗, 大橋匠, 宗田伊理也, S. Ishihara, N. Sawamoto, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整.
英文:	K. Matsuura, T. Ohashi, I. Muneta, S. Ishihara, N. Sawamoto, K. Kakushima, K. Tsutsui, A. Ogura, H. Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of 47th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC)

巻, 号, ページ

出版年月

2016年

出版者

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会議名称

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開催地

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