DEPOSITION OF DLC FILMS ONTO INNER WALL OF METAL TUBES BY NANOPULSE PLASMA CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	DEPOSITION OF DLC FILMS ONTO INNER WALL OF METAL TUBES BY NANOPULSE PLASMA CVD

著者

和文:	竹波慶大郎, 髙村瞭太, 平田祐樹, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Keitaro Takenami, Ryota Takamura, Yuki Hirata, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Program of The 5th Asian Symposium on Materials and Processing(ASMP2018)

巻, 号, ページ

出版年月

2018年12月7日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 5th Asian Symposium on Materials and Processing(ASMP2018)

開催地

和文:
英文:	Bangkok