Atomic scale analyses of As doped in Si by soft X-ray photoelectron spectroscopy and spectro-photoelectron holography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atomic scale analyses of As doped in Si by soft X-ray photoelectron spectroscopy and spectro-photoelectron holography

著者

和文:	名取鼓太郎, 小川達博, 星井拓也, Tomohiro Matsushia, 室隆桂之, 木下豊彦, Yoshitada Morikawa, 角嶋邦之, Fumihiko Matsui, Kouichi Hayashi, 若林整, 筒井一生.
英文:	Kotaro Natori, Tatsuhiro Ogawa, Takuya Hoshii, Tomohiro Matsushia, Takayuki Muro, Toyohiko Kinoshita, Yoshitada Morikawa, Kuniyuki Kakushima, Fumihiko Matsui, Kouichi Hayashi, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	11th Int. Symp. on Atomic Level Characterization (ALC'17)

開催地

和文:
英文:	Kauai, HI