SiC-TiC Composite Thin Films Grown by Radiofrequency Magnetron Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	SiC-TiC Composite Thin Films Grown by Radiofrequency Magnetron Sputtering

著者

和文:	樋渡智咲, 塩田忠, 篠崎和夫, 生駒俊之.
英文:	Hiwatari Chisaki, Shiota Tadashi, Shinozaki Kazuo, Ikoma Toshiyuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conferencee on Materials and Systems for Sustainability 2017

開催地

和文:
英文:	Nagoya