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論文・著書情報


タイトル
和文:3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討 
英文: 
著者
和文: 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Takasi Itikawa, Hirofumi Niijima, Sayaka Koga, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 67-72
出版年月 2019年7月1日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:令和元年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会 
英文: 
開催地
和文:神奈川県 
英文: 

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