Fabrication of ferroelectric Fe doped HfO2 epitaxial thin films by ion-beam sputtering method and their characterization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of ferroelectric Fe doped HfO2 epitaxial thin films by ion-beam sputtering method and their characterization

著者

和文:	白石貴久, Sujin Choi, 木口賢紀, 清水荘雄, 内田寛, 舟窪浩, Toyohiko J. Konno.
英文:	Takahisa Shiraishi, Sujin Choi, Takanori Kiguchi, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, Hiroshi Funakubo, Toyohiko J. Konno.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 57 pp. 11UF02

出版年月

2018年8月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI