Thickness-dependent crystal structure and electric properties of epitaxial ferroelectric Y2O3-HfO2 films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thickness-dependent crystal structure and electric properties of epitaxial ferroelectric Y2O3-HfO2 films

著者

和文:	三村和仙, 清水荘雄, 内田寛, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, Osami Sakata, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Lett.

巻, 号, ページ

Vol. 113 pp. 102901-1-4

出版年月

2018年9月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI