Enhanced oxidation of sic substrates using La2O3capped annealing and a proposal for uniform LaSiON gate dielectric formation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Enhanced oxidation of sic substrates using La2O3capped annealing and a proposal for uniform LaSiON gate dielectric formation

著者

和文:	Lei, Y.M., Munekiyo, S., Kawanago, T., Kakushima, K., Kataoka, K., 若林整, Tsutsui, K., Natori, K., Iwai, H., Furuhashi, M., Miura, N..
英文:	Lei, Y.M., Munekiyo, S., Kawanago, T., Kakushima, K., Kataoka, K., Hitoshi Wakabayashi, Tsutsui, K., Natori, K., Iwai, H., Furuhashi, M., Miura, N..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2nd IEEE Workshop on Wide Bandgap Power Devices and Applications, WiPDA 2014

巻, 号, ページ

pp. 110-113

出版年月

2014年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI