Resistivity reduction of low-carrier-density sputtered-MoS2film using fluorine gas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Resistivity reduction of low-carrier-density sputtered-MoS2film using fluorine gas

著者

和文:	Okada, Y., Yamaguchi, S., Ohashi, T., Muneta, I., Kasushima, K., Tsutsui, K., 若林整.
英文:	Okada, Y., Yamaguchi, S., Ohashi, T., Muneta, I., Kasushima, K., Tsutsui, K., Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	17th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2017

巻, 号, ページ

pp. 44-46

出版年月

2017年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI