Growth of epitaxial Y2O3-doped ferroelectric HfO2 films by sputtering method and their characterization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of epitaxial Y2O3-doped ferroelectric HfO2 films by sputtering method and their characterization

著者

和文:	Taisei Suzkuki, 三村和仙, 清水荘雄, 内田寛, 舟窪浩.
英文:	Taisei Suzkuki, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	SSDM 2018 (2018 International Conference on Solid State Devices and Materials)

開催地

和文:
英文:	Tokyo