Titanium dioxide fine structures by RF magnetron sputter method deposited on an electron-beam resist mask

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Titanium dioxide fine structures by RF magnetron sputter method deposited on an electron-beam resist mask

著者

和文:	Hashiba, H., Miyazaki, Y., 松下祥子.
英文:	Hashiba, H., Miyazaki, Y., Sachiko Matsushita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 8816

出版年月

2013年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI