Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:槽内電位の効率的逆解析によるLSIめっき電流密度分布の推定 
英文: 
著者
和文: 岸本 喜直, 安部 勇仁, 小林 志好, 大塚 年久, 天谷賢治.  
英文: 岸本 喜直, 安部 勇仁, 小林 志好, 大塚 年久, KENJI AMAYA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会論文集 A編 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 77    No. 782    pp. 1671-1686
出版年月 2011年 
出版者
和文:The Japan Society of Mechanical Engineers 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1299/kikaia.77.1671

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.