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論文・著書情報
タイトル
和文:
J054054 インフライトプラズマCVDによるシリコン量子ドット合成([J05405]マイクロ・ナノスケールの熱流体現象(5))
英文:
著者
和文:
野崎智洋
, GRESBACK Ryan,
岡崎健
.
英文:
TOMOHIRO NOZAKI
, GRESBACK Ryan,
KEN OKAZAKI
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan
英文:
巻, 号, ページ
Vol. 2011 pp. "J054054-1"-"J054054-4"
出版年月
2011年9月11日
出版者
和文:
一般社団法人日本機械学会
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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