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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリング法により配向制御したHfO2基強誘電体厚膜の作製およびその電気特性評価 
英文: 
著者
和文: 志村礼司郎, 三村和仙, 清水荘雄, 舟窪浩.  
英文: Reijiro Shimura, Takanori Mimura, Takao Shimizu, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2019年3月9日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第66回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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