Evaluation of Structure and Mechanical Properties of a-BCN Films Deposited by PVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Evaluation of Structure and Mechanical Properties of a-BCN Films Deposited by PVD

著者

和文:	竹内亮大郎, 岩本喜直, 河越雅雄, 谷口紘章, 平田祐樹, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Ryotaro Takeuchi, Yoshinao Iwamoto, Masao Kawagoe, Hiroyuki Taniguchi, Yuki Hirata, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Agenda of APSTP 2019 & AWMFT2019

巻, 号, ページ

出版年月

2019年7月31日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 2nd Asian Pacific Symposium on Technology of Plasticity(APSTP2019)

開催地

和文:
英文:	Tokyo