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論文・著書情報


タイトル
和文:冷却装置不要の自然冷却式マグネトロンスパッタガンの開発 
英文: 
著者
和文: 春本高志, 史蹟, 中村吉男.  
英文: Takashi HARUMOTO, Ji Shi, YOSHIO NAKAMURA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ 138       
出版年月 2019年9月12日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:日本金属学会2019年秋期講演大会 
英文: 
開催地
和文:岡山県 
英文: 

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