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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A micro vertically-allocated SU-8 check valve and its characteristics 
著者
和文: Mao Zebing, 吉田 和弘, 金 俊完.  
英文: Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Microsystem Technologies 
巻, 号, ページ Volume 25    No. 1    pp. 245-255
出版年月 2019年1月 
出版者
和文: 
英文:Springer Nature 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1007/s00542-018-3958-3

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