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論文・著書情報


タイトル
和文:F.G.アニールによるMoSi2/スパッタMoS2界面コンタクト抵抗低減 
英文: 
著者
和文: 松浦 賢太朗, 濱田 昌也, 坂本 拓朗, 谷川 晴紀, 宗田 伊理也, 石原 聖也, 角嶋 邦之, 筒井 一生, 小椋 厚志, 若林 整.  
英文: Kenntarou Matsuura, Masaya Hamada, Takuro Sakamoto, Haruki Tanigawa, Iriya Muneta, 石原 聖也, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Atsushi Ogura, Hitoshi Wakabayashi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2019年3月9日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第66回応用物理学会春期学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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