Direct measurement of chromatic aberrations induced by SiNx continuous membrane mask

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Direct measurement of chromatic aberrations induced by SiNx continuous membrane mask

著者

和文:	T. Yahiro, S. Suzuki, T. Irita, S. Kawata, 鈴木一明.
英文:	T. Yahiro, S. Suzuki, T. Irita, S. Kawata, Kazuaki Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol. B

巻, 号, ページ

Vol. 20 pp. 2634-2639

出版年月

2002年

出版者

和文:
英文:	American Vacuum Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: