PREVAIL - EPL alpha tool: Early results

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	PREVAIL - EPL alpha tool: Early results

著者

和文:	S.D. Golladay, H.C. Pfeiffer, C.A. Bohnenkamp, R.S. Dhaliwal, W.A. Enichen, M.S. Gordon, R.A. Kendall, J.E. Lieberman, W. Stickel, J.D. Rockrohr, E.V. Tressler, A. Tanimoto, T. Yamaguchi, K. Okamoto, 鈴木一明, T. Miura, T. Okino, S. Kawata, K. Morita, S. Suzuki, H. Shimizu, S. Kojima, G. Varnell, W.T. Novak, M. Sogard.
英文:	S.D. Golladay, H.C. Pfeiffer, C.A. Bohnenkamp, R.S. Dhaliwal, W.A. Enichen, M.S. Gordon, R.A. Kendall, J.E. Lieberman, W. Stickel, J.D. Rockrohr, E.V. Tressler, A. Tanimoto, T. Yamaguchi, K. Okamoto, Kazuaki Suzuki, T. Miura, T. Okino, S. Kawata, K. Morita, S. Suzuki, H. Shimizu, S. Kojima, G. Varnell, W.T. Novak, M. Sogard.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol. B

巻, 号, ページ

Vol. 19 pp. 2459-2467

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:	American Vacuum Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: