Data of scattered electron characteristics in 100kV EB stepper

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Data of scattered electron characteristics in 100kV EB stepper

著者

和文:	K. Morita, T. Yahiro, S. Shimizu, H. Yamamoto, N. Hirayanagi, T. Fujiwara, S. Suzuki, H. Shimizu, S. Kawata, T. Okino, 鈴木一明.
英文:	K. Morita, T. Yahiro, S. Shimizu, H. Yamamoto, N. Hirayanagi, T. Fujiwara, S. Suzuki, H. Shimizu, S. Kawata, T. Okino, Kazuaki Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceeding of SPIE

巻, 号, ページ

Vol. 3997 pp. 703-712

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	SPIE Microlithography

開催地

和文:
英文:	Santa Clara, CA