Non-catalytic fabrication of nanostructured carbon films by plasma-enhanced CVD in DC glow discharge system

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Non-catalytic fabrication of nanostructured carbon films by plasma-enhanced CVD in DC glow discharge system

著者

和文:	森伸介, 若林智也.
英文:	Shinsuke MORI, Tomoya Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering

巻, 号, ページ

S5-PO02

出版年月

2019年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering

開催地

和文:
英文:	Juju