Property Control of Ferroelectric HfO2 Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Property Control of Ferroelectric HfO2 Films

著者

和文:	舟窪浩, 三村和仙, 清水荘雄.
英文:	Hiroshi Funakubo, Takanori Mimura, Takao Shimizu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年6月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	EM-NANO 2019 (The Seventh International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies)

開催地

和文:
英文:	Nagano