Preparation and characterization of Y, Zr-doped HfO2 thin films by PLD method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation and characterization of Y, Zr-doped HfO2 thin films by PLD method

著者

和文:	田代裕貴, 三村和仙, 清水荘雄, 舟窪浩.
英文:	Yu-ki Tashiro, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	CJFMA11 (The 11th China and Japan Symposium on Ferroelectric Materials and TheirApplications)

開催地

和文:
英文:	Nanjing