Preparation of ferroelecttic HfO2 film with a nm-order thickness

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of ferroelecttic HfO2 film with a nm-order thickness

著者

和文:	Takao Shimizu, Takanori Mimura, Hiroshi Funakubo.
英文:	Takao Shimizu, Takanori Mimura, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	CJFMA11 (The 11th China and Japan Symposium on Ferroelectric Materials and TheirApplications)

開催地

和文:
英文:	Nanjing