Preparation and Characterization of Y, Zr-doped HfO2 Thin Film by PLD Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation and Characterization of Y, Zr-doped HfO2 Thin Film by PLD Method

著者

和文:	田代裕貴, 三村和仙, 清水荘雄, 舟窪浩.
英文:	Yu-ki Tashiro, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年11月3日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	19th US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics

開催地

和文:
英文:	Tsukuba