Acceleration test of APF-IH type implanter

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Acceleration test of APF-IH type implanter

著者

和文:	山本和男, 服部俊幸, 松井信二郎, 畑寿起, 林﨑規託, 柏木啓次, 高橋康之.
英文:	Kazuo Yamamoto, Toshiyuki Hattori, Shinjiro Matsui, Toshiki Hata, Noriyosu Hayashizaki, Hirotsugu Kashiwagi, Yasuyuki Takahashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

巻, 号, ページ

Vol. 188 pp. 229-232

出版年月

2002年4月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI