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論文・著書情報


タイトル
和文:UVインプリントにおける硬化収縮によるパターン形状変形の数値解析 
英文:Numerical Simulation of Pattern Shape Deformation Caused by Curing Shrinkage in UV Imprint 
著者
和文: 大西有希, 山下龍之介, 天谷賢治, 平井義彦.  
英文: Yuki Onishi, Ryunosuke Yamashita, Kenji Amaya, Yoshihiko Hirai.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第25回計算工学講演会論文集 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2020年6月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第25回計算工学講演会 
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開催地
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