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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:An Ultra-precision Magnetic Levitation Stage and its 6 DOF Control 
著者
和文: 中村 裕司, T.Mamba, T.Suzuki.  
英文: H.Nakamura, T.Mamba, T.Suzuki.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:4th International Conference on Positioning Technology 
開催地
和文: 
英文: 

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