Effective and efficient removing method of micromolds in UV-LIGA using CO2 laser ablation followed by O2/CF4 plasma finishing for high-aspect-ratio metallic microstructures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effective and efficient removing method of micromolds in UV-LIGA using CO2 laser ablation followed by O2/CF4 plasma finishing for high-aspect-ratio metallic microstructures

著者

和文:	韓冬, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Dong Han, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The International Journal of Advanced Manufacturing Technology

巻, 号, ページ

Volume 110 Issue 11 pp. 3391–3405

出版年月

2020年9月22日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI