COP基板におけるリピート熱ナノインプリントによる表面平坦化と導電性酸化物薄膜の堆積

論文・著書情報

タイトル

和文:	COP基板におけるリピート熱ナノインプリントによる表面平坦化と導電性酸化物薄膜の堆積
英文:	Surface flattening of COP substrate by repeat thermal nanoimprint for growth of conductive oxide thin films

著者

和文:	大賀友瑛, 大島淳史, 金子奈帆, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Tomoaki Oga, Atsushi Oshima, Naho Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年2月28日

出版者

和文:	応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第67回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 67th JSAP Spring Meeting 2020

開催地

和文:	東京都
英文:	Tokyo

公式リンク