A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-Axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped electrodes

著者

和文:	市川崇志, 渥美賢, 古賀達也, 山根大輔, 飯田慎一, 伊藤浩之, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Takashi Ichikawa, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Daisuke Yamane, Shin-ichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2020年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS

開催地

和文:
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