Effect of Soft X-ray Irradiation on Film Properties of a Hydrogenated Si-Containing DLC Film

論文・著書情報

タイトル

和文:	Effect of Soft X-ray Irradiation on Film Properties of a Hydrogenated Si-Containing DLC Film
英文:	Effect of Soft X-ray Irradiation on Film Properties of a Hydrogenated Si-Containing DLC Film

著者

和文:	神田一浩, Ryo Imai, Shotaro Tanaka, Shuto Suzuki, 新部正人, 長谷川孝行, 鈴木常生, 赤坂大樹.
英文:	Kazuhiro Kanda, Ryo Imai, Shotaro Tanaka, Shuto Suzuki, Masahito Niibe, Takayuki Hasegawa, Tsuneo Suzuki, Hiroki Akasaka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Materials
英文:	Materials

巻, 号, ページ

Vol. 14 pp. 924

出版年月

2021年2月15日

出版者

和文:	MDPI
英文:	MDPI

会議名称

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開催地

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