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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A MEMS-based electromagnetic membrane actuator utilizing bondedmagnets with large displacement 
著者
和文: QI Chao, 韓 冬, 進士 忠彦.  
英文: Chao Qi, Dong Han, Tadahiko Shinshi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Sensors and Actuators A: Physical 
巻, 号, ページ Volume 330    112834    pp. 1-11
出版年月 2021年5月19日 
出版者
和文: 
英文:ELSEVIER 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1016/j.sna.2021.112834

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