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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Thickness and composition dependences of epitaxial ferroelectric HfO2 based films 
著者
和文: 三村 和仙, 清水 荘雄, 舟窪 浩.  
英文: Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2021年1月19日 
出版者
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会議名称
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英文:EMA2021 (Electronic Materials and Applications 2021) 
開催地
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英文: 

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