エピタキシャル(Al1-xScx)N膜の作製と強誘電性評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	エピタキシャル(Al1-xScx)N膜の作製と強誘電性評価
英文:

著者

和文:	安岡慎之介, 清水荘雄, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke Yasuoka, Shimizu Takao, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年3月16日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第68回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:
英文:

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