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タイトル
和文:スパッタリング法によるY-HZO強誘電体厚膜の室温製膜とその電気特性および圧電特性評価 
英文: 
著者
和文: 志村礼司郎, 三村和仙, 舘山明紀, 清水荘雄, 白石貴久, 舟窪浩.  
英文: Reijiro Shimura, Takanori Mimura, Akinori Tateyama, Shimizu Takao, Takahisa Shiraishi, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2021年3月16日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第68回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
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