種々のZr/(Zr+Ti)比を有する分極軸配向正方晶PZTエピタキシャル膜の特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	種々のZr/(Zr+Ti)比を有する分極軸配向正方晶PZTエピタキシャル膜の特性評価
英文:

著者

和文:	大越春香, 森川友秀, 舘山明紀, 小寺正徳, 白石貴久, 江原祥隆, 舟窪浩.
英文:	Haruka Okoshi, Tomohide Morikawa, Akinori Tateyama, Masanori Kodera, Takahisa Shiraishi, Yoshitaka Ehara, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年3月16日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第68回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:
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