Thermal resistance reduction of membrane FP laser bonded by a-Si nano-film assisted surface activated bonding

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thermal resistance reduction of membrane FP laser bonded by a-Si nano-film assisted surface activated bonding

著者

和文:	FangWeicheng, 高橋直樹, 大磯義孝, 雨宮智宏, 西山伸彦.
英文:	Weicheng Fang, Naoki Takahashi, Yoshitaka Ohiso, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年9月10日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021

開催地

和文:
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